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RTP滑動式快速退火爐
- 產(chǎn)品描述
-
產(chǎn)品用途：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗。
產(chǎn)品特點：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計，可對樣品進(jìn)行快速升降溫處理；溫控精度高，最大升溫速率30℃/s;緊湊的臺式設(shè)計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
RTP滑動式快速退火爐
產(chǎn)品型號
RTP-G11103-K
額定功率
9KW
最高溫度
1000℃
工作溫度
950℃（＜1小時）
石英管尺寸
Φ110*360mm
加熱區(qū)長度
190mm
恒溫區(qū)長度
100mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控制
國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫
控溫定度
±1℃
爐管材質(zhì)
石英管
滑動距離
355mm
滑動方式
手動
建議升降溫速度
30℃-50℃/min
外形尺寸
565*960*665
關(guān)鍵詞：
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聯(lián)系方式
地址: 天津北辰科技園區(qū)雙川道11號
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